Track 工艺链问题定位工具产品图

Track 工艺链问题定位工具

把涂胶、显影、PEB/Bake、温湿度/气流、缺陷、边缘珠、Queue Time 与晶圆搬运等环节放到同一张工艺因果图里，帮助工程师快速判断：问题可能出在哪个环节、哪些环节正在相互影响、哪些数据或实验最值得优先补。

01能解决的问题

CD / LER 波动 膜厚不均 缺陷升高 边缘异常 烘烤漂移 环境波动 Queue Time 异常 晶圆翘曲与搬运风险

02核心价值

按工艺链路定位问题

从“靠经验逐项排查”切换到“按工艺链路定位问题”，把复杂异常放回同一条因果链中理解。

缩短异常分析时间

更快识别关键影响环节与相互作用关系，减少无效排查与重复补证带来的时间消耗。

明确验证优先级

聚焦最值得验证的数据与实验，辅助制定 DOE / HIT 计划，让验证路径更清晰、结论收敛更快。